产品型号:MS767产品名称:压力传感器晶元(0-7bar)
产品特性:未补偿的传感器Die;尺寸:1.72x1.58mm ;输出满量程392mv @5V;温度范围: -40℃~+125℃;线性度: 0.15% (典型);低成本,高可靠性
压力类型:绝压
产品应用:高精度绝压压力系统;轮胎气压测量;电子称
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 MS767的基础组成是硅微机加工膜和真空安装下的耐热玻璃。植入的电阻利用压阻效应感知膜的变形。MS767作为绝压传感器在膜下有密封真空参考腔。

由于传感器的基础元素是扩散电阻,地(GND1,GND2)上的电压必须低于电压脚(Vs+)上的电压。扩散层连接到Vs+。

MS767有个敏感膜(0.5x0.5mm),传感器外直径是1.62x1.48mm。 吸取和放置工具应该为软材料如橡皮(硬度78-97  Shore A). 它的外部尺寸必须符合传感器。 真空腔要和膜一样大。

 全压力范围

kPa    barmbarPSIatmmm Hgm H2OInches H2O
700 77000102 6.95250712810

绝对最大比率

参数符号条件最小最大单位
供应电压VS+Ta = 25℃ 20V
存储温度Ts   -40+150
过压   21Bar

电气特性

(Reference conditions: Supply Voltage VS+ = 5 Vdc; Ambient Temperature Ta = 25℃ )

参数最小典型最大单位备注
工作压力范围0 7Bar 
工作温度范围-40 125 
桥路电阻3.0                               3.4 3.8 
Full-scale span (FS)322392462mV 
Zero Pressure Offset-40 040 mV 
线性 ±0.15±0.4% FS1

电阻温度系数   TCR

满量程温度系数    TCS

零点温度系数   TCO

+ 2400

- 1500

- 80 

+ 2800

- 1900

 

+ 3300

- 2300

+ 80

ppm/℃

ppm/℃

μV/℃

2
压力迟滞 ±0.05         ±0.15       % FS3
重复性 ±0.1±0.2% FS4
温度迟滞  0.3 %       FS4

NOTES

1)  Deviation at one half full-scale pressure from the least squares best line fit over pressure range (0 to 7 bar).

2)  Slope of the endpoint straight line from 25℃ to 60℃.

3)  Output deviation at any pressure within the specified range, when this pressure is cycled to and from the minimum or maximum rated pressure, at 25℃.

4)  Same as 3) after 10 pressure cycles

5)  Maximum difference in offset after one thermal cycle from -40℃ to +125℃.

订购信息

产品产品描述 编号
 MS767A-0.5 700 kPa Absolute Pressure Sensor with PyrexTM0.5 mm thick (standard)  76710025
 MS767A-0.2 700 kPa Absolute Pressure Sensor with PyrexTM0.2 mm thick 76710022

The MS767 dice are supplied sawn on blue foil, mounted on plastic rings

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